SEMOZON? AX8555 臭氧輸送系統(tǒng)可配置多達(dá)四 (4) 個(gè)獨(dú)立通道，以同時(shí)支持多個(gè) ALD 工具或腔室。每個(gè)通道都可以與您的特定過程所需的特定濃度和流量相匹配。它包括獨(dú)立運(yùn)行所需的所有子組件，包括配電、環(huán)境臭氧安全監(jiān)視器、狀態(tài)指示燈面板和每個(gè)通道的可選集成臭氧破壞器。
特點(diǎn)：
高臭氧濃度
超凈臭氧
占地面積小
擁有成本低
規(guī)格
類型：臭氧氣體輸送系統(tǒng)
臭氧輸出：每個(gè)通道 26 - 180 克/小時(shí)
流量：每個(gè)通道 0.5 - 5 slm
原料氣：氧氣、氮?dú)猓偭髁康?20 - 100 ppm）、二氧化碳（總流量的 1000 - 2000 ppm）
原料氣供應(yīng)壓力：標(biāo)稱60 psig (4.2 kg/cm 2 )， 很大 75 psig (5.3 kg/cm 2 )，N2/CO2 壓力比 O2 壓力高 10 psi
原料氣純度： 很低 99.9995%
工作溫度：41 - 104°F (5 - 40°C)
所需冷卻水溫度：63 - 73°F (17 - 23°C)
需要冷卻水過濾：20微米
所需的冷卻水質(zhì)量：脫礦質(zhì)
所需的冷卻水 很小流量： 很低 1.0 gpm (2.3 - 3.8 slm) 至 很高 1.6 gpm。每個(gè)通道（取決于配置）
需要冷卻水連接：1/2 英寸壓縮 (Swagelok?)
需要冷卻水流量控制/指示：帶閥變面積流量計(jì)
需要冷卻水壓力指示：入口壓力表
電壓要求：208 伏交流電 (±10%)，三相
當(dāng)前要求：15 安培 RMS，30 安培服務(wù)，31 安培 RMS，50 安培服務(wù)（取決于配置）至少 10,000 AIC
頻率：50/60 赫茲
壓力指示：每種氣體的入口壓力表
排氣流量：150 立方英尺/秒（70.8 升/秒）
排氣類型：SEMI 類別 4（危險(xiǎn)氣體或蒸氣的意外或緊急釋放）
排氣靜壓： 很小 0.10 英寸（2.54 毫米）H2O 在機(jī)柜上的管道法蘭適配器底部測(cè)量
控制氣壓：70 - 100 磅/平方英寸
控制空氣類型：CDA 或干燥氮?dú)猓?0μm 過濾
控制空氣接頭：1/4 英寸壓縮 (Swagelok?)
排氣連接：6 英寸直徑的管道開口
尺寸：24 x 75 x 36 英寸（610 x 1575 x 914 毫米）（寬 x 高 x 深）
相對(duì)濕度：30 - 90%（非冷凝）
重量：600 lbs.(272 kg) 用于配備一臺(tái)發(fā)電機(jī)的系統(tǒng)，880 lbs.(400 kg) 用于配備四臺(tái)發(fā)電機(jī)的系統(tǒng)
遵守：CE, S2 - 0302, F47
高度：平均海平面以上 3280 英尺（1000 米）
