Samco紫外線臭氧清洗機(jī)產(chǎn)品系列介紹
Samco提供多種uv-臭氧清洗機(jī)的研發(fā)和生產(chǎn)。Samco的系統(tǒng)配備了階段加熱和臭氧發(fā)生器，與傳統(tǒng)的紫外線臭氧清洗機(jī)相比，實(shí)現(xiàn)了卓越的工藝性能。
緊湊的桌面紫外線臭氧清洗機(jī)是有用的樣品制備在空間有限的實(shí)驗(yàn)室設(shè)施。Samco的開負(fù)載uv-臭氧系統(tǒng)能夠處理300毫米的晶圓，并且與一般的等離子清洗相比，該工具具有低物理離子和充電損傷的優(yōu)點(diǎn)。對于生產(chǎn)客戶，盒式到盒式系統(tǒng)是可用的。
UV-1, UV-2和UV-300是緊湊和簡單的紫外線臭氧清洗機(jī)，可以適應(yīng)各種基材形狀和尺寸。占地面積小的系統(tǒng)易于操作，并使用紫外線輻射，臭氧和熱量的獨(dú)特組合來溫和而有效地從各種襯底中去除有機(jī)材料，包括硅，砷化鎵，藍(lán)寶石，金屬，陶瓷，石英和玻璃。
該系統(tǒng)非常適合各種應(yīng)用，如基材清潔，光刻膠去除，潤濕性改善，表面改性和紫外線固化。通過在大氣壓下操作，UV-1, UV-2和UV-300消除了對笨重，高維護(hù)，真空系統(tǒng)的需要，并且不會損壞脆弱的電子設(shè)備。
UV-300H是一個(gè)300毫米紫外線臭氧系統(tǒng)，包括桌面系統(tǒng)的所有功能。基材通過滑動(dòng)抽屜裝載到系統(tǒng)中，工作臺和臭氧歧管之間的間隙可手動(dòng)調(diào)節(jié)，從1到11毫米，以優(yōu)化工藝。
這種高性能裝置提供高達(dá)500nm/min的光刻膠灰化速率，并包括許多安全功能，以保護(hù)操作人員和系統(tǒng)。UV-300H在大氣壓力下工作，不需要單獨(dú)的真空系統(tǒng)。
隨著處理量需求的增加，UV-300HC是一種全自動(dòng)卡帶系統(tǒng)，包括一個(gè)280毫米級的uv-臭氧室，大氣機(jī)器人和兩個(gè)卡帶。盒式磁帶可以配置為單個(gè)晶圓高達(dá)200mm或使用托盤批量操作。與UV-300H一樣，工作臺和臭氧歧管之間的間隙可手動(dòng)調(diào)節(jié)，從1到11毫米，以優(yōu)化過程。
選項(xiàng)包括冷卻和加熱階段，以提高吞吐量。
Samco uv-臭氧清洗機(jī)可用于設(shè)備制造，材料科學(xué)，生物化學(xué)和分子生物學(xué)研究中的許多類型的應(yīng)用。
表面清洗
設(shè)備包裝引線框架和鍵合墊清潔
表面改性
表面活化
潤濕性調(diào)制
附著力提高
表面氧化(薄氧化層沉積)
去除有機(jī)污染
光刻膠灰化
光刻膠的UV固化、除氣和硬烘
光致抗蝕劑預(yù)處理
AFM針尖的清潔
石英晶體微平衡(QCM)傳感器的表面清洗
表面等離子體共振(SPR)芯片的清洗
UV交聯(lián)聚合物和光抗蝕劑
