SEMOZON? AX8415 是 MKS 開發(fā)的 很具創(chuàng)新性和多功能性的臭氧發(fā)生器。該發(fā)生器的新穎結(jié)構(gòu)和 電池設(shè)計(jì)可產(chǎn)生超清潔、高濃度、高流量的臭氧，將氧氣轉(zhuǎn)化為 >400 g/Nm3 的高濃度臭氧，用于半導(dǎo)體、平板顯示器和光伏行業(yè)的前沿應(yīng)用。
在 5°C @ 2.5 slm 時(shí)臭氧濃度高達(dá) 425 g/Nm3 或 27.1 wt%
從 2.5 slm 到 50 slm 的 O2 流量可實(shí)現(xiàn)工藝靈活性
獲得 的電池設(shè)計(jì)可產(chǎn)生高濃度臭氧
在添加或不添加氮?dú)獾那闆r下運(yùn)行
閉環(huán)操作可實(shí)現(xiàn)更嚴(yán)格的過程控制
直接替代MKS SEMOZON AX8407臭氧發(fā)生器
規(guī)格
類型：臭氧氣體發(fā)生器
臭氧輸出：高達(dá) 425 g/Nm 3
流量：2.5 - 50 slm
原料氣氧氣：6 級或更好的 O2
氮?dú)猓蛇x）：100 ppm 5 級或更好的 N2
環(huán)境溫度：10 - 40°C (50 - 104°F)
標(biāo)稱電池壓力（交付）：15 - 45 磅/平方英寸（100 - 310 千帕）
壓力：將過程壓力保持在 20 - 50 psig
控制接口：前面板控制和遠(yuǎn)程操作
冷卻水溫度：5 - 25°C (41 - 77°F)
冷卻水過濾：100微米
冷卻水質(zhì)量：電阻率 ≥ 50 kΩ/cm
很小水流量：9.4 升（2.5 加侖/分）
電壓要求：208 VAC (±10%) 3? 和 GND，無中性線
當(dāng)前要求：20安培
頻率：50/60 赫茲
重量：46.3 公斤
尺寸：483 x 445 x 267 毫米
遵守：CE、半 S2-0302、半 F47、UL 61010-1、CAN/CSA-61010-1
SEMOZON AX8415 中設(shè)計(jì)的技術(shù)是該發(fā)生器多功能性的基礎(chǔ)。臭氧被電子工業(yè)用于形成 CVD 和 ALD 薄膜、氧化物生長、光刻膠去除和多種清潔應(yīng)用。AX8415 能夠通過產(chǎn)生 很高濃度的超潔凈臭氧來支持所有這些應(yīng)用，無論是否添加氮作為摻雜劑氣體。如果給定應(yīng)用需要，去除臭氧形成過程中使用的微量氮可消除 NOx 化合物的形成。
